半导体FPD等领域
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热处理成膜设备用轴承
热处理成膜设备采用的是在高温环境下也可进行润滑的特殊规格的轴承。
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EB电子束曝光设备用轴承
由于 EB 电子束曝光设备使用的轴承在强磁场环境下工作,因此采用的是非磁性材质的陶瓷轴承。
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蚀刻设备用轴承
由于蚀刻设备用轴承在暴露于蚀刻液的状态下工作,所以使用的是耐腐蚀性强的陶瓷材质轴承、及 采用了PTFE 涂层的轴承。
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离子注入设备用轴承
离子注入设备的真空室内采用的是bob体育官方
的高洁净轴承,可避免因在真空中进行润滑、受到磨损等而产生杂质。
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溅镀设备用轴承
溅射设备的高温、真空室内采用的是高温 Clean Pro 规格的轴承。
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CMP设备用轴承
由于 CMP 设备轴承在暴露于研削液的环境下工作,所以使用的是耐腐蚀性强的陶瓷材质轴承,及采用了 PTFE 涂层的轴承。
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检测设备用轴承
检测设备用轴承采用的是对检查不造成影响的非磁性轴承。
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晶片运送设备用轴承
晶片传送机 的标准兼具烟尘减排量低、应用使用期长的特质。
为够满足该不同的用途,该传动装置使用的是与 Clean Pro 产品规格的结合陶瓷厂家制品渐渐导轨,与溥壁式 K 国产的深沟球型结合陶瓷厂家制品联轴器。
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